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8-inch Cold-Chuck
8-inch Cold-Chuck

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Cold-Chuck Plate & Temp. Controller

기술문의 개발상담

품명

8-inch Cold-Chuck 

일반
사항

설치장소 

실 내 용

작동전원

220VAC 

주위온도  

상온

소비전력

700W 

주위습도 

40% ~ 80%

온도제어 

PID 제어

제어대상

실리콘 웨이퍼 

크기 및 중량 

하기사항 참조 

품목

Cold-Chuck Plate 

 Temp. Controller  

형식 

작동전원

DC 24V

작동전원

 220VAC 

소비전력

600W 

소비전력

 100W 

중량

1790g 

중량

10kg 

크기

Φ220×21mm 

크기

440×390×295(mm) 

냉각방식

T.E. Module 

제어 기법

PID 제어

냉각능력

400W 

제어대상

실리콘 웨이퍼 

히터방식

T.E. Module 

제어범위 

-20℃ ~ 85℃ 

히터능력

600W 

제어정도 

±0.1℃

절연 저항 

1×10-9Ω 

Uniformity

±1.0℃