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12-inch Cold-Chuck
12-inch Cold-Chuck

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반도체 웨이퍼 다이싱 공정에서 픽업시 불량발생
→ -10℃이상 냉각하여 점착시트의 점착력 줄임으로 수율 개선

기술문의 개발상담

품명

12-inch Cold-Chuck

일반사항

 

설치장소

실 내 용

작동전원

220VAC

주위온도

상온

소비전력

580W

주위습도

40% ~ 80%

온도제어

PID 제어

제어대상

실리콘 웨이퍼

크기 및 중량

하기사항 참조

품목

Cold-Chuck Plate

Temp. Controller

형식

작동전원

DC 48V

작동전원

220VAC

소비전력

480W

소비전력

100W

중량

3910g

중량

10kg

크기

Φ318×17.7mm

크기

440×390×295(mm)

냉각방식

T.E. Module

제어 기법

PID 제어

냉각능력

266W

제어대상

실리콘 웨이퍼

히터방식

T.E. Module

제어범위

-20℃ ~ 85℃

히터능력

480W

제어정도

±0.1℃

절연 저항

1×10-9Ω

Uniformity

±1.0℃