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핫 척(HOT CHUCK)
핫 척(HOT CHUCK)

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제어 대상의 항온 유지 : 실리콘 웨이퍼 용/ 진공흡착 방식

기술문의 개발상담

구분

핫 척(HOT CHUCK)

비고

품명

12" HOT CHUCK

품번

LIV-HOT-01

형식

작동전원

DC 12V

 

소비전력

900W

 

주위온도

상온

 

주위습도

40 - 80%

 

중량

5kG

 

크기

12"

 

제품관련

냉각방식

열전 반도체

 

냉각능력

600W

 

히터방식

열전 반도체

 

히터능력

900W

 

제어관련

온도 제어 기법

PID 제어

 

제어대상

다수

 

온도제어범위

-10℃~110℃(부하에 따라 달라질 수 있음)

 

온도제어정도

±0.1℃

 

통신방식

RS232C, RS485

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