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Ceramic CTE측정용 Cold & Hot plate
Ceramic CTE측정용 Cold & Hot plate

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Ceramic Board 열팽창계수 측정
대상 : Ceramic Board (Wafer type)

기술문의 개발상담

품명

Ceramic CTE측정용 cold & hot plate

일반사항

 

설치장소

실 내 용

작동전원

220VAC

주위온도

상온

소비전력

8KW

주위습도

40% ~ 80%

온도제어

PID 제어

제어대상

실리콘 웨이퍼

크기 및 중량

하기사항 참조

품목

Cold-Chuck Plate

Temp. Controller

형식

작동전원

DC 24V

작동전원

220VAC

소비전력

2.5KW

소비전력

5.5KW

중량

15kg

중량

100kg

크기

Φ420×35mm

크기

[W]600 x [D]650 x [H]1500 mm

냉각방식

T.E. Module

제어 기법

PID 제어

냉각능력

600W

제어대상

Ceramic Board

히터방식

T.E. Module

제어범위

-10℃ ~ 100℃

히터능력

1800W

제어정도

±0.1℃

평탄도 

± 0.05mm (max)

Uniformity

±2.0℃